高精度膜厚测量仪
更新时间：2010-01-01 00:00:00
价格：请来电询价
型号:FE-3000
测量范围:1nm-250μm
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详细介绍
产品特性：
紫外到近紅外光范围的反射光谱，适用用于多层膜测量及光学常数分析的光干涉式膜厚测量仪。
非接触式、不破坏样品，高精度，高再現性。
190nm~1600nm的范围波長分析。
1nm~250μm薄膜厚度测量。
可对应显微镜下的微小测量范围。
测量项目：
反射率分析 |
多层膜膜厚解析 |
光学常数解析（n:折射率，k:衰減系数） |
应用范围：
■ 平面显示器
液晶显示器、导电薄膜、oled
■半导体、化合物半导体
矽半导体、激光半导体、強导电、介电常数材料
■数据储存材料
dvd、录影机读取头薄膜、磁性材料
■光學材料
滤光片、抗反射膜
■薄膜
抗反射膜
■其它
建筑用材料
规格样式：
| 标准型 | 厚膜对应型 | |
膜厚测量范围 | 1 nm ~ 40 μm | 0.8 ~ 250 μm | |
波长测量范围 | 190 ~ 1600 nm | 750 ~ 850 nm | |
感光元件 | 光电二极管阵列512ch | 矩阵型ccd影像感測器512ch | 光电二极管阵列512ch |
光源規格 | d2/i2（紫外-可視光）、d2（紫外光）、i2（可視光） | i2（可視光） | |
电源規格 | ac100v±10v 750va（自动驱动平台分） | ||
尺寸 | 481（h）×770（d）×714（w）mm（主体部分） | ||
重量 | 約96kg（主体部分） | ||
测量实例：
本产品的品牌是日本大塚电子Photal，型号是FE-3000，测量范围是1nm-250μm，测量精度是0.1nm，外形尺寸是481（H）×770（D）×714（W）（mm），用途是膜厚测量
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